空气过滤器的研究不能中断

    空气过滤器还需要进一步发展，我国在对高效空气过滤器的研究从未中断。空气过滤器关系到电子行业的发展这也是对它研究不能中断的一个理由。
    世界各工业先进国家为适应超净技术的发展，对大量使用的高效空气过滤器 的研究从未中断，几年来一直在开发不同结构不同性能的新产品，美国自1979年开始研制0．1微米ULPA过滤器，1984年美国AAF公司开始生产0．1微米无隔板ULPA过滤器，目前0．1微米ULPA过滤器在美国AAF公司、FLANDERS公司和CAMBRIDGE公司已形成商品化生产。日本也已成为世界上生产0．1微米ULPA过滤器厂家最多的国家，品种繁多，产品系列化，尤其是低压损型0．1微米ULPA过滤器的开发成功解决了初阻力大的技术难题。国际市场对高效空气过滤器的需求量很大，且每年均有增长，目前日本每年销售超过100万台，按每台平均价格200美元计算，销售额达2亿美元。我国高效空气过滤器市场需求量已接近每年10万台，占国际市场的2％~4％，但至今还没有0．1微米ULPA过滤器生产，用于超大规模集成电路生产洁净厂房及各种高科技领域洁净厂房的0．1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。
    由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0．1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。美国ASYST公司、德国MW公司发展的使用隔离技术的亚微米生产微环境系统设备和技术在近几年中得到广泛采用。该项最新的洁净技术在100级洁净度的洁净厂房中，采用工艺设备局部使用隔离技术的微环境，把投资比例压缩到高级别的微环境，消除了操作者与工艺设备运行的二次污染源产生对集成电路成品率和可靠性的影响作用。
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