不同工厂对空气质量的要求差别很大。装有排烟罩和污染控制设备的工厂需要补充大量的空气,如果这些工厂所在地区环境空气受到污染, 那么在将补充的空气分布到工作场所之前必须先进行过滤。在半导体生产和制药工业中,对空气的洁净度要求较高。典型的工作环境中,每立方英尺空气中含有500000个粒子,而半导体生产的最新要求是每立方英尺空气中只有1个粒子。因此,工作间需要用经过HEPA空气过滤器过滤的洁净空气不断地循环清洗。
为保持HEPA过滤器的洁净和寿命,还需要几段效率较低的预滤器联合使用。工业用洁净室要求连续有效地去除粒径更小的粒子。HEPA过滤器一度是效率最高的过滤器,现在ULPA过滤器则是效率最高的过滤器,以后更高效率的新一代过滤器也将得以开发应用。微细玻璃纤维过滤介质是过滤器介质的主要选择,但膜和静电增强介质已向该领域渗透,并获得部分应用。
对于工厂排放的废气,要求最严格的是毒性。某些重金属如汞、砷、铬、铍等毒性很大,其排放限制非常严格。在空气毒性方面,美国和德国已经通过了新的更严格的立法。执行新的立法后,空气毒性的限制由原来的20mg/m3（标准）降低到010004mg/m3（标准）。为达到这一目标, 工厂需要更先进的过滤器以除去亚微粒子。
一些德国公司使用传统的折叠式微细玻璃纤维HEPA过滤器用于过滤系统,同脉冲空气洁净机理相互配合,并使过滤介质的波纹更密。一家美国公司则通过设计管式微细玻璃纤维HEPA过滤器又向前进了一步。
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