一、高效过滤器的更换
1 更换周期
1.1高效过滤器发生破损泄漏时，应检测洁净室的悬浮粒子数，发现悬浮粒子数超标时，应边检查、边用环氧树脂硅胶堵漏，或紧固螺栓，直至无泄漏现象出现或经检查，堵漏仍不能保证泄漏发生，应对过滤器进行更换。
1.2高效过滤器风速降至0.32米/秒以下时应更换
1.3 高效过滤器风量降到额定风量70％以下时应更换
1.4 高效过滤器更换后，用尘埃粒子计数器对高效过滤器和安装连接处进行检漏。在扫描巡检的同时，紧固螺栓或用环氧树脂堵漏。
1.5 高效过滤器的检测、更换应及时记录
1.6 高效过滤器更换后，应进行洁净度测试
二、初效、中效过滤器应定期更换清洗.
1.1 频率：初效过滤器当终阻力为初阻力两倍时清洗，当终阻力低于初阻力时更换，发现破损应立即更换；中效过滤器当终阻力为初阻力两倍时清洗，当终阻力低于初阻力时更换，发现破损应立即更换。
1.2 洗涤剂溶液：取液体洗涤剂加饮用水稀释成适宜浓度，摇匀即可。
1.3 清洗方法：将过滤器取下，滤袋从框架上取下，放在清洗容器内，将洗涤剂放入清洗容器内并稀释。用手挤压的方法洗去灰尘和污物；用饮用水漂洗，直至漂洗水无浑浊为止。洗净晾干，当气温低不能及时干燥时，可放到烘干机中烘干。
1.4 过滤器清洗后应检查有无破损，发现破损应立即更换。
1.5 过滤器的清洗、更换应及时记录.
1.6 洁净室回风口、排风口由岗位操作人员每月清洗一次。清洗时拆下回、排风口过滤网送至清洗间，用饮用水冲洗，洗净晾干，装回。
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