空气洁净级别分为1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级。平时生活中中央空调洁净度一般为30万级,集成电路制造需优于1000级。
我国空气洁净度分级标准: GB/T16292-1996(中国标准)
粒径、数值洁净度级别 |
尘埃最大允许数/立方米 |
微生物最大允许数 |
||
≥0.5um |
≥5um |
浮游菌/立方米 |
沉降菌/皿 |
|
100 级 |
3,500 |
0 |
5 |
1 |
10,000 级 |
350,000 |
2,000 |
100 |
3 |
100,000 级 |
3,500,000 |
20,000 |
500 |
10 |
300,000 级 |
10,500,000 |
60,000 |
— |
15 |
国际空气洁净度分级标准: ISO14644-1 (国际标准)
空气洁净度等级(N) |
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子) |
|||||
0.1 um |
0.2 um |
0.3 um |
0.5um |
1um |
5 um |
|
ISO Class 1 |
10 |
2 |
|
|
|
|
ISO Class 2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
||
ISO Class 3 |
1 000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
|
ISO Class 4 |
10 000 |
2 370 |
1 020 |
352 |
83 |
|
ISO Class 5 |
100 000 |
23 700 |
10 200 |
3 520 |
832 |
29 |
ISO Class 6 |
1 000 000 |
237 000 |
102 000 |
35 200 |
8 320 |
293 |
ISO Class 7 |
|
352 000 |
83 200 |
2 930 |
||
ISO Class 8 |
|
3 520 000 |
832 000 |
29 300 |
||
ISO Class 9 |
|
35 200 000 |
8 320 000 |
293 000 |
||
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。 |
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