国内曾有一种观点，10万级洁净室可以选用“亚高效”过滤器（对≥0.5μm粒子的过滤效率≥95%）作为末端过滤器，其理由是亚高效功率器便宜、阻力小。
就过滤器的价格而言，目前市场上同样尺寸规格的亚高效过滤器是高效过滤器价格的70%~90%，亚高效过滤器并不比高效过滤器便宜多少，选用亚高效过滤器时，洁净室的换气次数要明显增大，为此，空调系统要大、送风口的数量（以及过滤器数量）要增多，由此造成投资的增加远远大于高效与亚高效过滤器间的差价。
就阻力而言，亚高效过滤器的初阻力确实会比高效过滤器小一些。但是，洁净室末端过滤器初阻力的大小并不那么重要，因为不管什么样的过滤器，终阻力大小都定在500~600pa。过滤器的设计使用寿命很长，为设计者考虑的是过滤器接近终阻力时通风系统仍能工作，初阻力的那点差别实在是无关紧要。
在生产过程中，高效过滤器要进行逐台性能测试，而对亚高效过滤器只进行少量抽测。两者的外观可能不一样，但两者的品质却有明显差别。